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当硅片经清洗液处理后表面不沾水分子时称为疏水处理，反之表面吸附水膜时为亲水处理。纯净的硅片表面是疏水性的。从能量观点看，疏水性表面属低能表面,这时硅片表面张力r（SG）小于水分子表面张力r（SL）。亲水性表面则属高能表面,这时的硅表面张力r（SG）大于水分子表面张力r（SL）。由此可知，硅表面成为亲水性的基本条件为A=r（SG）- r（SL）＞0

目前的PDMS芯片键合通常是采用PDMS与玻璃进行键合的方式进行，PDMS与玻璃之间的键合通常对于玻璃的材质有要求且对玻璃表面的洁净程度要求很高,如果玻璃材质变化或者玻璃表面洁净程度不够均会导致键合强度不够从而漏液。为实现良好的键合,在玻璃材质的情况下对于玻璃的清洗要求也很严格,通常通过乙醇、去离子水超声工艺以及等离子清洗等方式反复进行，工艺繁琐且造成资源浪费。解决PDMS与玻璃键合过程中对于玻璃材质的选择问题，现有技术中主要采用的是PDMS与玻璃键合时采用钠钙玻璃进行，对于石英、钢化玻璃、ITO玻璃、 镀有其他功能薄膜(Ag膜、Au膜等)等其他材质的玻璃键合效果不理想，对于镀有电极的玻璃如果电极面积占比较大也会导致PDMS与玻璃之间键合不牢固。

为了提高材料表面的亲水性，应用等离子体技术对材料进行表面改性而提高其润湿性；等离子表面清洗技术作为一种新型的材料表面改性方法，低能耗、污染小、处理时间短、效果明显的特点引起了人们的关注。改性后疏水性材料表面的润湿性得到了明显改善，等离子清洗机是众多的改性方法中，近年来发展较快的方法，与其他方法相比有很多优点。

一、性质不同

1、亲水性材料：材料与水接触时能被水湿润的特性称为亲水性材料。

2、疏水性材料：该材料具有与水不能湿润的性质，当该材料的湿润角大于90时，称为疏水性材料。

二、特点不同

1、亲水性材料：分子具有极性基团，对水有很大的亲和力，能吸引水分子，或溶于水。由这些分子形成的固体材料的表面很容易被水润湿。

2、疏水性：在复合绝缘子行业中，疏水性又称润湿性，由复合绝缘子（硅橡胶）外绝缘表面张力决定，表示水对复合绝缘子外绝缘的润湿能力。

三、判断方法不同

1、亲水性材料：当润湿角小于等于90度时，水分子之间的内聚力小于材料表面水分子之间的相互吸引。它是一种亲水性材料。

2、疏水性材料：当润湿角大于或等于90°时，材料表面水分子之间的内聚力大于水分子之间的相互吸引，为疏水性材料。