氧化铝抛光粉（VK-L30F）在蓝宝石衬底抛光中的应用

目前， 在蓝宝石的CMP 工艺中， 常用的磨料主要包括金刚石、二氧化硅溶胶、氧化铈和氧化铝等磨料。
　　实验数据表明，a-氧化铝抛光粉（VK-L30F，0.3um,球型）在蓝宝石抛光过程中的优势逐渐明显。
　　金刚石只用于传统的机械抛光，其硬度（莫氏10）比蓝宝石（莫氏9）硬度高，容易产生划伤，蓝宝石表面损伤度高，良率低。氧化铝（VK-L30F）的硬度与蓝宝石相当，颗粒球型，抛光速率高，良率高，是比较理想的抛光材料。而SiO2硬度（莫氏硬度7.5）比蓝宝石低，抛光速率比氧化铝抛光粉慢很多，抛光比较耗时。
　　在抛光C-平面蓝宝石衬底时，a-氧化铝抛光粉（VK-L30F，0.3um）制成的研磨液的抛光性能（去除速率和表面质量等）优于其他磨料，具体表现如下：
　　1，形成的水化层增加，抛光过程中，在蓝宝石基底上持续形成水化层，它比基底层软，该层的形成有利于材料的去除，并产生高质量表面。
　　2，表面质量改善，a-氧化铝与基底蓝宝石的硬度一样，因此，磨料划伤蓝宝石的可能性很小。
　　3，去除速率增加，a-氧化铝磨料经历了与基底蓝宝石一样的表面水化，在基底宝石与磨料水化层之间的化学机械作用加速了材料去除，当磨料和基底蓝宝石的表面在抛光压力下靠在一起并剪切时，就相互粘附，进一步的剪切就会使粒子撕开键合的水化层，通过粒子的前边沿促进材料去除。表面粗糙度能小于0.2nm.
　　4，氧化铝抛光液在循环过程中稳定性更好，二氧化硅抛光液在使用过程中温度严格控制，以防止结块，但氧化铝研磨液就比较稳定，也显示了很好的洁净度。
　　实验1：采用氧化铝抛光粉对蓝宝石衬底进行抛光，抛光液的pH为10时抛光效果好，表面粗糙度RMS可达0.2nm。抛光压力在0. 12Mpa 至0. 15Mpa，抛光液浓度为10%时较佳。浓度越高，抛光速率越快。
　　目前很多蓝宝