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URE-2000/35型紫外光刻机

   日期:2024-06-12     浏览:0    评论:0    
核心提示:产品名称:URE-2000/35型紫外光刻机主要技术指标:曝光面积:100mm100mm分辨力:1um(胶厚1.5m的正胶)对准精度:0.8m大胶厚:30
 产品名称:URE-2000/35型紫外光刻机  
主要技术指标:  
曝光面积:100mm×100mm  
分辨力:1um(胶厚1.5μm的正胶)  
对准精度:±0.8μm  
大胶厚:300μm(SU8胶)  
掩模尺寸:2.5inch、3inch、4inch、5inch  
样片尺寸:直径Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm);  
照明均匀性:±4%(Ф100mm范围)  
汞灯功率:350W(直流)  
掩模相对于样片运动行程:X:±5mm;Y:±5mm;θ:±6°  
URE-2000/35型紫外光刻机技术特点:  
创新采用三柔性支点实现高精度自动调平;真空接触自动曝光;样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制;采用积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明;可连续设定分离间隙;采用双目双视场显微镜实现高对准精度。整机具有性能可靠、操作方便、自动化程度高等特点。  
产品名称:URE-2000/35型紫外光刻机  
主要技术指标:  
曝光面积:100mm×100mm  
分辨力:1um(胶厚1.5μm的正胶)  
对准精度:±0.8μm  
大胶厚:300μm(SU8胶)  
掩模尺寸:2.5inch、3inch、4inch、5inch  
样片尺寸:直径Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm);  
照明均匀性:±4%(Ф100mm范围)  
汞灯功率:350W(直流)  
掩模相对于样片运动行程:X:±5mm;Y:±5mm;θ:±6°  
URE-2000/35型紫外光刻机技术特点:  
创新采用三柔性支点实现高精度自动调平;真空接触自动曝光;样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制;采用积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明;可连续设定分离间隙;采用双目双视场显微镜实现高对准精度。整机具有性能可靠、操作方便、自动化程度高等特点。
http://www.zwscience.com/Products-35704074.html 
https://www.chem17.com/st476407/erlist_2228393.html 
 
原文链接:http://www.yf163.com/news/109992.html,转载和复制请保留此链接。
以上就是关于URE-2000/35型紫外光刻机全部的内容,关注我们,带您了解更多相关内容。
 
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